




實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)氣體管路
實(shí)驗(yàn)室供氣管路系統(tǒng)工程主要是為試實(shí)驗(yàn)室選用的分析設(shè)備提供量值和壓力穩(wěn)定的標(biāo)準(zhǔn)氣體,保證其儲存和使用的安全性。保障分析測試人員在實(shí)驗(yàn)中免受有毒有害氣體的侵害。按照國標(biāo)要求,將所用全部氣體存放于儲氣間,并實(shí)現(xiàn)集中輸送,組成中央供氣系統(tǒng)。電子特氣管道系統(tǒng)氦檢漏方法特氣系統(tǒng)氣體管道氦檢漏的順序宜采用內(nèi)向檢漏法、閥座檢漏法、外向檢漏法。系統(tǒng)采用一拖一、一拖多、多拖一和多拖多的管道式輸氣方式,在一拖多時(shí)能夠?qū)崿F(xiàn)分段控制和在多拖一和多拖多時(shí)能夠?qū)崿F(xiàn)切換控制;并能夠保證標(biāo)準(zhǔn)氣體流量、壓力穩(wěn)定和量值傳遞不發(fā)生變化,滿足分析檢測設(shè)備對使用氣體的技術(shù)要求。
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電子特氣系統(tǒng)的維護(hù)
由于特氣系統(tǒng)是一種具有高風(fēng)險(xiǎn)的供應(yīng)系統(tǒng),因此在生產(chǎn)線現(xiàn)場的維護(hù)需要專業(yè)、有經(jīng)驗(yàn)的技術(shù)員完成。特氣系統(tǒng)的維護(hù)主要包含氣體柜維護(hù)和管路維護(hù)。
(1)特氣柜又分為全自動特氣柜與半自動特氣柜,每種氣柜的維護(hù)方法有一定的區(qū)別。全自動氣柜維護(hù)自動化程度較高,并且安全可靠。并能夠保證標(biāo)準(zhǔn)氣體流量、壓力穩(wěn)定和量值傳遞不發(fā)生變化,滿足分析檢測設(shè)備對使用氣體的技術(shù)要求。在維護(hù)前關(guān)閉鋼瓶閥門,設(shè)置換瓶吹掃,程序自動進(jìn)行抽氣,置換等動作,根據(jù)氣體性質(zhì)的不同,一般至少吹掃60次以上,負(fù)壓保壓30分鐘以上,確保氣柜各管路與閥門吹掃干凈。
(2)管路的維護(hù),由于不同的氣體性質(zhì)不一樣,對管路維護(hù)的方法也不相同,對腐蝕性氣體的管道需要多次用高純氮?dú)獯祾撸∟2purge),一般至少反復(fù)30次,對于有吸附性的液態(tài)源氣體,由于管路容易堵塞,需要多次的反復(fù)的抽真空,抽完后關(guān)閉閥門,1小時(shí)后會出現(xiàn)壓力表回表的現(xiàn)象,會造成管道泄漏的誤導(dǎo),遇到此情況打開真空器發(fā)生器繼續(xù)抽,直到?jīng)]有吸附氣體釋放為止。05m的微粒,因此對高純氣體的輸送管路系統(tǒng)提出了非常高的要求。
以上兩種系統(tǒng)維護(hù)后都必須做正壓與負(fù)壓的保壓測試,一般正壓保壓壓力為使用壓力的1.2倍,負(fù)壓保壓為-12PSI,保壓時(shí)間至少120分鐘以上,由于壓力傳感器(PT)受溫度的影響,一般有2PSI的正負(fù)波動。
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特種氣體使用安全
首先,應(yīng)對特氣的危害性進(jìn)行分析,通過本質(zhì)安全設(shè)計(jì),消除安全隱患。根據(jù)行業(yè)規(guī)范,對特氣房選址、安全間距、防火分區(qū)、房間通風(fēng)、電氣防爆等進(jìn)行評估。管道設(shè)計(jì)應(yīng)進(jìn)行保壓和氦測漏,確保系統(tǒng)密閉性。鋼瓶和管道閥門應(yīng)選用隔膜或波紋管密封閥門。管道系統(tǒng)應(yīng)采用焊接系統(tǒng),機(jī)械接頭均應(yīng)置于抽風(fēng)罩內(nèi)。2、特氣系統(tǒng),內(nèi)向測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s。排放氣體應(yīng)進(jìn)行安全處理。氣體輸送設(shè)備具有緊急切斷功能。操作應(yīng)遵循標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程。
其次,采用監(jiān)測手段,預(yù)防事故發(fā)生。設(shè)置氣體泄漏偵測器,監(jiān)控氣體泄漏??扇夹詺怏w應(yīng)設(shè)置高溫或火焰?zhèn)蓽y器。危險(xiǎn)氣體應(yīng)設(shè)置過流開關(guān)。特氣系統(tǒng)氣柜應(yīng)進(jìn)行負(fù)壓監(jiān)測,防止抽風(fēng)系統(tǒng)的失效。氣體配比儀采用高精度質(zhì)量流量計(jì),電化學(xué)拋光316L不銹鋼管件,雙卡套或者VCR氣體接頭。偵測系統(tǒng)應(yīng)與報(bào)警和緊急切斷連鎖。系統(tǒng)還應(yīng)進(jìn)行遠(yuǎn)程監(jiān)控。監(jiān)控系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置不間斷電源。
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